摘要：对降低铌酸锂（LN）电光调制器的半波电压进行了研究,探索了利用反射结构实现低半波电压的原理。通过退火质子交换工艺在x切LN晶片上制作了反射结构的LN电光调制器。测试表明,这种反射结构的LN电光调制器在保持器件长度不变的条件下可以降低半波电压。
分类：期刊> 自然科学与工程技术> 信息科技> 无线电电子学
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关键词：铌酸锂 电光调制器 退火质子交换 半波电压 反射结构
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