摘要：镀膜器插入锡槽窄段，利用化学气相沉积法在热的玻璃表面依次沉积上颜色抑制层、钠离子阻挡层和功能膜层，其中功能膜层为氟掺杂二氧化锡膜层。通过调整功能膜的膜层厚度、调整功能膜层F的掺杂量及改变膜层结构可以实现对大部分镀膜玻璃产品电阻控制的要求。生产中还可以利用现有锡槽设备及电阻测量工具监控镀膜玻璃电阻情况，并实时进行调整。
分类：期刊> 自然科学与工程技术> 工程科技I> 无机化工
收录：知网收录(中) > 维普收录(中) > 万方收录(中) > 国家图书馆馆藏 > 上海图书馆馆藏
关键词：在线镀膜 方块电阻 氟掺杂
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社
