摘要：利用真空磁控溅射技术制备了不同调制周期的TiO2-Al复合薄膜和TiO2-Al-Al2O3-Al复合飞片,通过SEM对各层薄膜的厚度、界面成分、薄膜均匀性和致密性进行相应表征;利用光子多普勒测速系统（PDV）测量飞片速度,得出飞片速度与激光脉冲能量的关系;运用原子发射光谱法研究了TiO2-Al复合薄膜调制周期对激光诱导TiO2-Al复合薄膜等离子体特性的影响。研究结果表明：复合薄膜不同材料膜层分界面清晰可见,具有明显的层状结构;飞片速度随激光能量的增加先上升后降低,调制周期小的飞片速度高于调制周期大的飞片;对应的等离子体电子温度规律类似;在一定能量范围内,反应性复合薄膜在激光辐照下对飞片的速度特性有较为显著的增强作用。该结果对提高激光驱动飞片能量耦合率有重要意义。
分类：期刊> 自然科学与工程技术> 工程科技I> 燃料化工
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关键词：激光烧蚀 反应性复合薄膜 电子温度 飞片速度
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