摘要：采用磁控溅射工艺制备玻璃基Ag/TiO2复合膜，研究TiO2膜的射频功率、溅射时间、氩气流量和本底真空度4个制备参数对复合膜隔热性能的影响。结果表明：复合膜的隔热温差随着射频功率、溅射时间、氩气流量、本底真空度的增加均呈现先增大后减少的变化趋势；4个制备参数对复合膜隔热温差的影响程度由大到小的顺序依次为本底真空度、溅射时间、射频功率、氩气流量；4个制备参数的较优组合为本底真空度4×10-3Pa，射频功率150W，溅射时间15min，氩气流量20mL/min。
分类：期刊> 自然科学与工程技术> 工程科技II> 工业通用技术及设备
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关键词：磁控溅射 隔热性能 制备参数
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