摘要：对微机械压力传感器中的残余应力研究进展进行了综述。概述和总结了国内外微机械压力传感器的研究进展和存在问题,分析了残余应力对传感器的零点失调、零点温度系数、输出非线性和输出频率等方面的影响,总结了材料属性、加工温度等因素对残余应力的影响,展望了残余应力测量的发展和趋势。指出可以通过结构设计的优化等方式控制或利用残余应力,达到提高稳定性的目的。
分类：期刊> 自然科学与工程技术> 信息科技> 自动化技术
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关键词：微机械 压力传感器 残余应力 性能
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