摘要：采用多靶位真空阴极电弧离子镀技术在1Cr17Ni2不锈钢表面沉积抗冲蚀TiN／ZrN多层膜，利用扫描电镜、显微硬度计、划痕仪、冲刷试验机和中性盐雾试验机等对多层膜的结构及性能进行研究．结果表明：所制备的TiN／ZrN多层膜厚度为5．24μm，膜层与基体结合力为55N，显微硬度为HK2026.6；多层膜对不锈钢基体起到了良好的防护作用，耐90°攻角冲刷砂量为50g，耐中性盐雾腐蚀96h无腐蚀，336h抗腐蚀性能大于9级．
分类：期刊> 自然科学与工程技术> 工程科技I> 材料科学
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关键词：抗冲蚀 真空阴极电弧离子镀
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