摘要：德国生产制造商Schmid宣布研发出一种新型金刚石线切割多硅晶片纹理化工艺。还表示其首批新型技术系统将于2017年第二季度开始出售。Schmid研发的新型系统也称为DWPreTex，可用来加强晶片表面粗糙化，以便实现纹理化工艺。Schmid表示，该工艺非常具有成本效益，并且易于实施。
分类：期刊> 自然科学与工程技术> 工程科技I> 材料科学
收录：知网收录(中) > 维普收录(中) > 万方收录(中) > CA 化学文摘(美) > 剑桥科学文摘 > 国家图书馆馆藏 > 上海图书馆馆藏
关键词：硅晶片 线切割 金刚石 工艺 纹理 开发 技术系统 生产制造商
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社
