摘要：针对某型超导薄膜滤波器制作完成后的频率偏离现象，借助激光对超导薄膜滤波器线条进行修剪，以修正超导滤波器的频率。结合仿真计算，滤波器修正后频率与设计值一致；其它指标仍能满足设计要求。借助激光修正超导薄膜滤波器频率，将显著降低对设计和工艺制作的高精度要求，可实现更高的成品牢。
分类：期刊> 自然科学与工程技术> 工程科技II> 工业通用技术及设备
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关键词：超导薄膜滤波器 激光 修剪 频率修正
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