摘要：高温高能离子注入机是宽禁带半导体SiC产业的关键设备，离子源直接影响整机的性能指标。为保证离子源的长寿命和大束流，针对SiC高温高能离子注入机中的离子源热场问题，采用仿真软件对灯丝、阴极帽和AlX罩的热场、热变形进行了研究，提出了离子源运用过程中的注意事项及改进设计。
分类：期刊> 自然科学与工程技术> 信息科技> 无线电电子学
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关键词：离子注入机 离子源
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