摘要：提出了一种基于马赫增德尔干涉仪（MZI）的聚合物光学波导加速度计。理论推导了MZI结构的传输函数,仿真分析了悬臂梁结构参数与器件灵敏度的关系,制备得到了4μm×4μm单模传输芯层波导的传感芯片。搭建了集成光学加速度测试系统,采用比较校准法对探测器输出电压信号进行标定,实现了传感芯片因施加加速度后输出光强变化的测试,完成了加速度测量。该加速度传感芯片分辨率为10-2gn,动态范围为±2 gn。
分类：期刊> 自然科学与工程技术> 信息科技> 无线电电子学
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关键词：光学传感器 加速度 聚合物材料
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