摘要：采用水热和煅烧工艺制备具有良好分散性的多孔纳米球形Cd掺杂In2O3颗粒,并对其甲醛气敏性能进行测试.结果表明：Cd掺杂量较低时得到的粉末为纯立方In2O3相,当Cd掺杂量高于4.1%（原子分数）时,除存在立方In2O3相外,还存在微量立方CdO相.Cd掺杂可极大提高In2O3多孔纳米球的甲醛气敏性能并且降低其最佳工作温度,4.1%Cd-In2O3最佳工作温度为60℃,远低于纯In2O3的最佳工作温度120℃,能显著降低In2O3传感器的能耗.且4.1%Cd-In2O3在60℃下对50×10^-6甲醛的灵敏度高达1074,远高于纯In2O3在120℃下的最高灵敏度57.4.1%Cd-In2O3在60℃对50×10^-6甲醛的响应和恢复时间分别为326 s和912 s;Cd掺杂In2O3还可明显提高其气敏选择性能.
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关键词：cd掺杂 in2o3 多孔纳米球 甲醛 气敏性能
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