摘要：由于光谱仪的尺寸限制，微型光谱仪在满足一定光谱范围时，其分辨力往往难以小于0.1nm。而一些特殊应用场合要求光谱仪不仅具有微小的尺寸，还要求具有极高的光谱分辨力。本文基于Zemax光学设计软件，通过选择合适的初始结构参数与评价函数，自动优化准直镜、聚焦镜、柱透镜、光栅，以及CCD间倾角和距离，设计出光谱分辨力高达0.05nm，尺寸为90mm×130mm×40mm的Czerny-Turner结构微型光谱仪。在此基础上优化出8个光栅倾斜角度，使微型光谱仪光谱分辨力在优于0.05nm的同时，波段范围达到了820nm～980nm。所设计的光谱仪具有超高的光谱分辨力、微小的外形尺寸与适中的光谱范围等特点。
分类：期刊> 自然科学与工程技术> 信息科技> 无线电电子学
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关键词：微型光谱仪 光谱分辨力 zemax
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