摘要：提出了一种基于清晰度的显微浮雕轮廓术。采用5倍显微物镜，将正弦条纹通过投影仪从显微镜目镜瞳口处耦合投射到载物台上，按照一个合适的步长移动Z轴，用CCD采集一系列不同离焦量下的条纹图像，用variance清晰度评价函数计算清晰度与离焦量之间的归一化啮线图，由此建立清晰度与高度的查找表；然后，放入待测浮雕物体，用CCD采集对应的条纹图像，采用图像分割分解不同浮雕高度的区域，再计算各区域内条纹的清晰度，根据查找表查找相应的高度，从而得到待测浮雕物体不同区域的高度信息，以此来重构浮雕物体的三维形貌。实验仿真分析证明了该方法的可行性，硬币上数字为“0”的浮雕物体表面三维形貌重建结果证明了该方法的有效性，其误差范围在[-2μm，2μm]之间。
分类：期刊> 自然科学与工程技术> 信息科技> 无线电电子学
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关键词：三维形貌测量 浮雕轮廓术 清晰度评价函数 正弦条纹 离焦量 查找表
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