摘要：在图形化蓝宝石衬底掺杂渐变的氮化镓（GaN）外延片上制备了肖特基型紫外探测器。与传统结构器件相比,该器件表现出显著改善的电学和光学特性：（1）室温下,当偏压为-5V时具有极低的暗电流密度-1.3×10^-8 A/cm^2;（2）在零偏压情况下,紫外/可见光抑制比为-4.2×10^3,最高的响应度为-0.147A/W,最大外量子效率为-50.7%,甚至在深紫外波段（250-360nm）平均量子效率也大于40%;（3）平均开启和关闭瞬态响应常数分别为115μs和120μs,基本不随偏压变化,且具有很好的热稳定性;（4）零偏压下热噪声限制的极限探测率为-5.5×10^13cm·Hz^1/2/W。
分类：期刊> 自然科学与工程技术> 信息科技> 无线电电子学
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关键词：图形化蓝宝石衬底 氮化镓肖特基型紫外探测器 光电特性 热噪声
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