摘要：利用功率谱密度（PSD）评价光学表面粗糙度具有传统评价手段（Ra）所不具备的优势。给出了功率谱密度的计算方法,以及抽样方向与一维PSD曲线的关系。在离子束抛光K9玻璃实验中引入PSD曲线,以评价抛光光学零件的光学表面粗糙度,结合PSD曲线与Ra值能够更全面的指导光学加工。
分类：期刊> 自然科学与工程技术> 基础科学> 物理学
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关键词：离子束抛光
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