摘要：利用溶胶-凝胶（sol-gel）法,在Pt/TiO2/SiO2/Si衬底上制备出无铅钙钛矿结构薄膜Ba（0.8）Ca（0.2）-Zr（0.05）Ti（0.95）O3。溶胶液旋涂后进行前烘时,温度由室温缓慢上升至200℃有利于得到表面较为平整的薄膜。通过XRD、铁电测试仪和AFM对薄膜微观结构及电学性能进行表征,研究退火温度、退火时间等退火工艺对薄膜晶体结构与电学性能的影响。实验结果表明在退火温度和退火时间分别为700℃、11 min时,得到具有饱和极化值、剩余极化值分别为19.6μC/cm~2和5.6μC/cm~2的BCZT钙钛矿结构铁电薄膜。
分类：期刊> 自然科学与工程技术> 基础科学> 基础科学综合
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关键词：退火工艺 微观结构 电学性能
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