摘要：为了实现Ag在SiC晶体中扩散的分子动力学模拟，根据第一性原理计算结果，采用“力匹配”方法对Ag、Si和C原子间相互作用势进行拟合，并用晶格常数、内聚能、体弹性模量、弹性常数和缺陷形成能等进行了势函数的验证.结果表明，拟合所得的势对Si、C和SiC晶体的内聚能、晶格常数和体弹性模量的计算非常准确，最大误差不超过0.6%；并且，该势对Si和C晶体中空位与间隙形成能及SiC晶体中Si与C空位形成能的计算值比采用J.Tersoff给出的势的计算值更精确；此外，该势对16种AgSiC三原子体系缺陷形成能的计算也比较精确.
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关键词：tersoff势 力匹配 sic 第一性原理计算
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