摘要：采用磁控溅射在Al2O3陶瓷表面沉积了Ti+Nb/Mo金属层，实现了氧化铝陶瓷的金属化，并通过电镀镍提高了金属化效果.采用AgCu28钎料，实现了金属化Al2O3陶瓷与Kovar合金的可靠连接.通过扫描电子显微镜和能谱观察了钎缝的微观组织.结果表明，钎料与母材发生了明显的界面反应.Cu元素扩散进入Kovar合金，同时Ni元素扩散进入钎料的富铜区，从而促进AgCu/Kovar连接界面的形成；金属化层在Al2O3/AgCu钎料界面处，起到了关键作用，其中铌可以抑制脆性化合物形成，缓解残余应力.金属化层镀镍后，钎缝中AgCu共晶区明显，且钎缝较宽，对提高镀镍试样的钎焊接头强度有一定作用.
分类：期刊> 自然科学与工程技术> 工程科技I> 金属学及金属工艺
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关键词：氧化铝陶瓷 金属化 钎焊 磁控溅射
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