摘要：利用光纤激光加工系统研究了两个激光加工参数（扫描速度和激光功率）对TiN薄膜加工特性的影响,并采用白光干涉仪分析了两组参数对加工直线槽的槽深、堆积高度和槽底表面粗糙度的影响趋势,通过对比分析,优化了加工参数。结果表明光纤激光器在加工TiN薄膜微结构上存在着效率高、精度高的优势。
分类：期刊> 自然科学与工程技术> 工程科技II> 航空航天科学与工程
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关键词：tin薄膜 激光加工 微结构
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