摘要：碲锌镉（CdZnTe）是液相外延碲镉汞（HgCdTe）薄膜的最佳衬底材料。获得高喷量的CdZnTe衬底表面对于提升红外探测器的性能有着十分重大的意义。针对CdZnTe表面加工技术进行了研究，开发出一种新的化学抛光技术，使得抛光后的CdZnTe表面粗糙度Ra可达0．3nm。
分类：期刊> 自然科学与工程技术> 信息科技> 无线电电子学
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关键词：碲锌镉衬底 化学抛光 表面粗糙度
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