摘要：针对宽频声表面波的高灵敏度检测需求，研究设计搭建了基于偏振差分干涉技术的激光声表面波检测系统。实验中从干涉条纹可见度和差分信号的大小来评估系统的调试效果，利用压电陶瓷纳米位移台和SIOS干涉仪对检测系统进行测试和标定，得到系统的最小静态、动态检测位移；对系统各组成部分的噪声信号进行分析，并提出相应的抑制方法。最后对系统进行重复性测量，并对铝、硅样片上的激光声表面波信号进行检测。本研究为声表面波检测系统的性能评估提供了科学可行的方法，为声表面波技术在无损检测中的应用提供了一种可靠的测量手段。
分类：期刊> 自然科学与工程技术> 信息科技> 无线电电子学
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关键词：光学干涉 激光声表面波 系统分析 无损检测
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