摘要：为了解国产单晶硅生长用石英坩埚的技术现状,为石英坩埚的研究与应用提供科学依据,采用多种现代检测方法,对四川某企业生产的石英坩埚及其高纯石英原料的化学成分、物相和结构特征进行测试分析,结果表明：单晶硅生长用石英坩埚是一种以高纯石英为原料加工制备的石英玻璃功能材料;石英坩埚的透明情况和分层结构均由内部的气泡引起,透明层中气泡较少,直径Ф=10μm-100μm,不透明层中复合气泡密集且明显大于透明层,直径Ф=50μm-300μm。该企业所生产的石英坩埚出现双层、透明单层、不透明单层等3种不同横断面结构,但它们的微量杂质元素含量相似（总量为101×10（-6）-188×10（-6））、物相相同（非晶态的石英玻璃）,其质量还未达到国家质量标准,一个重要原因是所用的高纯石英原料13种微量杂质元素总量为55×10（-6）,属4N中端产品,与美国尤尼明4N8标准级高端产品还存在很大差距。
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关键词：石英坩埚 石英 高纯石英 石英玻璃 单晶硅
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