光刻技术的历史与现状

摘要：集成电路的飞速发展有赖于相关的制造工艺——光刻技水的发展，光刻技术是迄今所能达到的最高精度的加工技术。

分类：期刊> 自然科学与工程技术> 基础科学> 自然科学理论与方法

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关键词：激光光刻 大规模集成电路 短波长激光器 

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