摘要：折反射式零位补偿检验是一种综合了Offner折射式和Maksutov反射式补偿检验优点的凹非球面检验方法，补偿能力强，检测光路紧凑。大口径和大相对孔径非球面检验是制约其加工质量提高的难题，针对口径为4121、偏心率为1、顶点曲率半径为16m的大口径凹抛物面反射镜，设计了折反射式零位补偿器。基于三级像差理论对补偿器的初始结构进行了规划和计算，采用Zemax软件对初始结构参数进行了优化，得出了补偿器的最终结构，检验光路轴向尺寸约12m，系统优化后剩余波相差为0．005A。设计和仿真结果表明，这种折反射式零位补偿器对大口径凹非球面镜的加工检测是非常有利的。
分类：期刊> 自然科学与工程技术> 基础科学> 自然科学理论与方法
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关键词：几何光学 大口径非球面检验 折反射式零位补偿检验 三级像差理论 光学系统设计
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