摘要：采用磁控溅射技术,以Al为溅射靶材,甲烷为溅射气体,在不同射频功率下制备了一系列Al含量不同的类金刚石碳基薄膜（AL-DLC）.分析了Al含量对薄膜成分、结构及机械性能的影响,并探讨了其在空气和水介质下的摩擦磨损行为.结果表明：Al掺杂使得薄膜中sp3-C的生长受到抑制,sp2-C增加,表面吸附水分子能力变强,在水介质摩擦过程中的剪切阻力变小,从而使得摩擦磨损减小.通过调整射频功率可以对薄膜中Al含量进行调控,在最优Al含量时,Al-DLC在空气和水介质中均具有优异的摩擦学性能.
分类：期刊> 自然科学与工程技术> 工程科技II> 机械工业
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关键词：类金刚石薄膜 al掺杂 sp3结构 水介质
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