摘要：为了系统研究氟掺杂对非晶碳基薄膜摩擦学行为的影响,以C2H2和CF4为气源,通过等离子体增强化学气相沉积方法制备不同F含量的非晶碳基薄膜.采用XPS、SEM、Raman光谱以及纳米压痕等技术测定薄膜的微观结构、化学组成和力学性能,利用球-盘式往复摩擦试验机评价薄膜与不同配副材料的摩擦磨损性能.结果显示：较低F含量并未显著影响薄膜与强碳黏着对偶Ti、WC和Si3N4的摩擦系数;少量F原子掺杂明显增加了薄膜与弱碳黏着对偶ZrO2和Al2O3的摩擦系数;薄膜与GCr15对偶的摩擦系数随F含量增加而明显升高;高F含量导致薄膜与Cu对偶的摩擦系数产生明显波动,而导致薄膜与Al对偶的摩擦系数显著增加;值得注意的是,高F含量薄膜在不同体系中都表现出高摩擦低磨损的特点.高活性F原子与对偶材料的摩擦化学作用能够合理解释不同体系摩擦学行为.
分类：期刊> 自然科学与工程技术> 工程科技II> 机械工业
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关键词：非晶碳基薄膜 氟 摩擦 磨损 摩擦化学
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