摘要：利用台阶仪、X-射线衍射仪分别研究了薄膜厚度及物相.实验结果表明：随着靶基距的减小,薄膜的厚度增加,而对于纯TiO_2主峰的衍射峰强度增加;除了靶基距为4 cm的薄膜中有锐钛矿结构的Mg Ti2O5杂相之外,其它靶基距的薄膜均为TiO_2的锐钛矿与金红石的混合相;在靶基距为6 cm时锐钛矿相TiO_2的晶粒尺寸最大,大小为34 nm;在靶基距为7 cm时金红石相TiO_2的晶粒尺寸最大,大小为11.5 nm.
分类：期刊> 自然科学与工程技术> 基础科学> 自然科学理论与方法
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关键词：tio2薄膜 磁控溅射 靶基距
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