摘要：以F-P型带通滤光片标准具为基础,根据膜系设计理论,通过软件优化设计,获得窄带滤光片的膜系。采用射频离子束溅射系统镀制薄膜,用OMS光控方式监控膜厚,并用UV3150分光光度计分析记录样品的光谱数据,测试结果表明：制备的窄带滤光片在510~550nm波长范围内平均透过率大于93%、截止带平均透过率小于0.5%,满足使用要求。
分类：期刊> 自然科学与工程技术> 医药卫生科技> 医药卫生综合
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关键词：窄带滤光片 中心波长 优化设计 射频离子束溅射
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