摘要：针对多晶太阳能电池片生产工艺中的扩散炉管间方阻均匀性问题,主要从酸制绒工艺的刻蚀深度及刻蚀反应温度2个方面对问题进行了分析。结果表明,刻蚀深度在（3.6±0.2）μm,温度控制在5.5℃7.5℃,0.2μm的刻蚀偏差调整扩散温度1℃,可以减少各个批次间的方阻偏差,从而提高电池片转换效率。
分类：期刊> 自然科学与工程技术> 工程科技I> 一般化学工业
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关键词：方阻均匀性 酸制绒工艺 刻蚀深度 刻蚀温度
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