摘要：针对MEMS壁面剪应力传感器进行了标定及其不确定度分析工作.标定基于压力梯度法,使用扁平校验水槽作为主要的试验装置.测量不同壁面剪应力下的MEMS输出电压信号,通过最小二乘拟合可获得标定系数.反复进行壁面剪应力及电压测量,同时查找相关产品说明书获得壁面剪应力及标定系数的不确定度.试验结果表明,剪应力测量的相对扩展不确定度小于7%,且外流速度越大,剪应力测量的不确定度越小,因此扁平校验水槽能够提供较高精度的剪应力输入;电压测量的相对扩展不确定度小于7%,且外流速度越大,电压测量的不确定度越小,因此传感器能够可靠地用于流体壁面剪应力的测量;示定曲线具有合理的形态且拟合相关性较高,因此标定公式具有较好的可靠性.
分类：期刊> 自然科学与工程技术> 工程科技II> 航空航天科学与工程
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关键词：mems传感器 壁面剪应力 示定 压力梯度法 扁平水槽
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