摘要：采用反应等离子喷涂制备TiN涂层，利用扫描电子显微镜、X-射线衍射等方法对涂层进行表征。分析不同喷涂功率所得涂层的微观形貌、组织、相等，进一步对涂层的晶粒尺寸及结晶规律进行研究，以此来优化喷涂工艺参数以期得到满意的喷涂效果。结果表明，TiN涂层中除了TiN相外，还含有少量的TiO0.325、Ti3O以及Ti2O3相；涂层的微观结构是由大量细小的柱状晶、等轴晶及部分树枝晶所组成；与基体材料越接近的涂层在结晶时过冷度越大，晶粒尺寸越小。
分类：期刊> 自然科学与工程技术> 工程科技I> 无机化工
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关键词：tin涂层 反应等离子喷涂 结晶规律
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