摘要：以多频干涉原理为基础,借助Y型光纤、卤素灯、光栅光谱仪等实验器材,搭建了微米量级的测厚仪,通过测量石英片上下表面反射光的干涉光谱图,经过离散傅里叶分析得到2块待测石英片样品的厚度为(48.7±0.7)μm和(8.9±2)μm,其值与迈克耳孙干涉法测量得到结果一致,并给出其理论上的测量范围.该测厚仪具有方便、可原位测量的优点.
分类：期刊> 自然科学与工程技术> 基础科学> 物理学
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关键词：多频干涉 厚度测量 离散傅里叶 光谱 石英片
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