摘要：通过水热法制备3种尺寸的氧化铜（CuO）片状纳米结构,采用介电泳方法将所制备纳米结构定位到预先设计的Ti/Au电极上,以此为基础来构建湿度传感器并进行传感特性测试。实验结果表明：氧化铜纳米结构尺寸为4,3和1μm,相对应所构建的湿度传感器的灵敏度分别为0.436,0.665和0.891 kΩ/RH%。发现氧化铜纳米结构的尺寸越小,以之为敏感元件的湿度传感器的灵敏度越高。结合多层吸附理论模型,深入讨论了纳米结构尺寸对湿度传感特性的影响。分析结果表明,通过对依赖于纳米结构尺寸的比表面积和表面原子活性的调控,可以有效改善纳米湿度传感器灵敏度等性能。
分类：期刊> 自然科学与工程技术> 信息科技> 无线电电子学
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关键词：湿度传感器 氧化铜纳米结构 水热合成法 比表面积 传感特性
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