摘要：介绍了放射性同位素63Ni同位素微电池(radioisotope micro battery)的工作原理、结构和性能指标,建立了电池电流的计算公式.针对传统同位素微电池的倒三角直槽型或倒金字塔型能量转换结构表面积较小的缺陷,设计了一种垂直侧壁方孔阵列型的能量转换结构,增大了其表面积,得到最佳结深范围2 μm～3 μm,最佳掺杂浓度NA=1020/cm3,ND=1017/cm3.在此基础上加工出63Ni同位素微电池,并对其进行测试性能,得到开路电压Voc=127 mV,电流密度JSC=4 nA/mm2,功率密度Pm=0.41 nW/mm2,与设计结果相符.
分类：期刊> 自然科学与工程技术> 信息科技> 无线电电子学
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关键词：mems 放射性同位素63ni微电池 垂直侧壁方孔阵列 活度 源密度
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