摘要：为了研究蓝宝石/ZnO/GaN外延片表面层热应力分布及影响因素,利用有限元分析法对直径为40mm的外延片表面热应力分布进行了理论计算和仿真,验证了仿真模型的合理性.分析了其生长温度、蓝宝石衬底和ZnO过渡层厚度对表面层热应力的影响.结果表明：在1 200℃生长温度下,外延片在径向区域内的热应力分布比较均匀;在400-1 200℃温度范围内,外延层表面应力与生长温度呈近似正比关系;衬底厚度为2-2.5mm的范围内,外延层热应力较小.正交试验分析数据表明GaN厚度对GaN外延片的表面热应力有显著影响.该研究成果可为该类外延片生长工艺研究和低应力外延片的筛选标准制定提供借鉴.
分类：期刊> 自然科学与工程技术> 工程科技II> 综合科技B类综合
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关键词：热应力 生长温度 表面应力
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