摘要：为了提高测量电解在线砂轮修整磨削砂轮表面生成的氧化膜厚度的准确性,采用激光和涡流传感器及虚拟仪器组成测量系统,进行了氧化膜的模拟测试.通过测量系统和高精度电镜对模拟氧化膜厚度相同样点的测量数据进行比较,结果表明：激光和涡流传感器组成的测量系统实现了对氧化膜精确测量,测量相对误差小于0.66%;验证测量系统方案的可行性及静态测量结果的准确性.实现了氧化膜厚度的微米级别测量,且测量结果受机床的振动和加工环境影响;扩大了材料的测量范围,可对非均匀材料进行在线非接触测量.砂轮半径的磨损导致测量基准超出传感器测量范围;加在砂轮电极的电压影响涡流传感器的测量精度.
分类：期刊> 自然科学与工程技术> 工程科技II> 综合科技B类综合
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关键词：砂轮 氧化膜 非接触测量 涡流传感器
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