摘要：半导体芯片是信息技术的重要基础。电子元件在芯片上集成度的迅速提高是集成电路性能提高、价格降低的重要原因,即著名的摩尔定律。但随着制程越发接近半导体的物理极限,电子元件将会难以继续缩小下去。在半导体技术发展的过程中,光刻胶（photoresist）扮演了至关重要的角色。
分类：期刊> 自然科学与工程技术> 工程科技I> 材料科学
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关键词：半导体产业 光刻胶 半导体芯片 材料 电子元件 半导体技术 信息技术 电路性能
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