摘要：利用有限元分析软件ANSYS建立了FBAR三维振动模型,分析了不同有效区域形状（方形、圆形、非正五边形）、不同有效区域面积（10 000μm^2、15 625μm^2、22 500μm^2、30 625μm~2、40 000μm^2）和不同压电层材料（AlN、ZnO）对其横向杂散模式的影响,得到了阻抗特性曲线及不圆度（NC）。有效区域形状为非正五边形时,得到最平滑的阻抗曲线和最小的NC值为0.015 1;有效区域面积为40 000μm^2时得到最小的NC值为0.005 5;在相同谐振频率（1.76GHz）下,用ZnO作压电材料时得到较小的NC值为0.012 9。
分类：期刊> 自然科学与工程技术> 信息科技> 无线电电子学
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关键词：薄膜体声波谐振器 谐响应 横向杂散模式 有限元
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