摘要：针对声光可调滤光器（AOTF）压电换能器和声光晶体键合后出现附着力差的问题开展分析,根据热应力理论计算AOTF键合层各层的热应力分布情况,提出通过增加过渡层改善键合层应力特性。当过渡层Au膜厚为200nm时,理论上键合层和声光晶体间的热应力减小到-0.613 MPa,能够保证膜层的附着强度。测试结果显示,添加过渡层后频率响应的3dB带宽增加,衍射效率提高了2%～4%。
分类：期刊> 自然科学与工程技术> 信息科技> 无线电电子学
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关键词：声光可调滤光器 声光晶体 真空键合 热应力 声阻抗匹配
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