摘要：石英微机械陀螺敏感芯片通常采用双端音叉结构,驱动音叉和检测音叉的振动耦合误差是其主要误差源。对双端音叉结构陀螺敏感芯片进行了结构解耦设计仿真,分析了芯片安装区对检测音叉振动特性的影响。通过解耦设计,减小了零偏误差信号,提高了陀螺敏感芯片的稳定性。
分类：期刊> 自然科学与工程技术> 信息科技> 无线电电子学
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关键词：石英微机械 陀螺 敏感芯片 结构解耦
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