摘要：我国半导体制备发展迅速,相应地对氟化工的依赖程度也在不断增加。电子级氢氟酸作为半导体制备、集成电路清洗的关键性材料,我国长期以来依赖于进口。对我国电子级氢氟酸的研究进展进行了概述,主要包括发展现状、制备工艺、质量标准和发展前景等几个方面。
分类：期刊> 自然科学与工程技术> 工程科技I> 有机化工
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关键词：电子级氢氟酸 研究进展 制备工艺
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