摘要：为研究基体偏压对AlCrSiON纳米复合涂层结构、力学性能和热稳定性的影响规律及机制,采用电弧离子镀技术在硬质合金基体上沉积AlCrSiON涂层。利用扫描电子显微镜（SEM）、X射线衍射仪（XRD）、透射电子显微镜（TEM）、纳米压痕仪（划痕仪）研究涂层组织结构和力学性能;通过真空退火试验研究涂层的高温稳定性。结果表明：AlCrSiON涂层为致密柱状晶结构,并主要由c-（Al,Cr）N和c-（Al,Cr）（O,N）两相组成,呈现出纳米复合结构。随着偏压的升高,涂层表面的颗粒数目和尺寸减少,组织结构更加致密;硬度和弹性模量均呈现出先增加后减小的趋势,当偏压为–80 V时分别达到最大值30.1 GPa和367.9 GPa。涂层具有良好的高温稳定性,不同偏压下沉积的AlCrSiON涂层经800~950℃热处理后均能够保持良好的结构稳定性及力学性能,但经1 100℃热处理后涂层发生相分解并引发组织结构变化,导致涂层硬度减小。
分类：期刊> 自然科学与工程技术> 工程科技I> 金属学及金属工艺
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关键词：基体偏压 alcrsion 真空退火 组织结构 热稳定性
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