摘要：MEMS热式微流量传感器具有灵敏度高、量程宽、响应时间短等优点，在生化医疗等领域具有重要的实用价值和意义。本综述首先介绍了MEMS热式流量传感器的工作原理和基本结构，随后阐述了此类传感器的分类、发展历史与技术特性，最后展望了其今后的发展趋势和应用前景。
分类：期刊> 自然科学与工程技术> 基础科学> 基础科学综合
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关键词：微流量传感器 mems 热温差 灵敏度
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