摘要：随着真空应用技术的发展,对真空获得设备的要求愈来愈高。真空泵必须是低振动、低噪声、高可靠、耐腐蚀、清洁无油。本文介绍了最新的粗真空、中真空泵的结构与性能以及它们在光伏行业、制药工业、汽油蒸汽回收以及空间模拟方面的应用。
分类：期刊> 自然科学与工程技术> 工程科技II> 工业通用技术及设备
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关键词：滑阀泵 罗茨泵 干式螺杆真空泵 真空技术的应用
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