Journal Of Micro-nanolithography Mems And Moems（中文译名：《微纳光刻技术杂志》），ISSN：1932-5150，EISSN：1932-5134，是SPIE出版的国际性学术期刊，创刊于2007年，以Quarterly形式稳定发行，2026年总发文量约79篇。该刊采用非OA开放访问，学科归属为Multiple。该刊是物理与天体物理、工程电子与电气领域的国际权威刊物，已被SCI（科学引文索引）、SCIE（科学引文索引扩展版）等国际主流学术数据库收录。2026年期刊影响因子达2.3，2025年期刊CiteScore为4.3，2025年期刊自引率约17.4%，在中科院期刊分区体系中位列物理与天体物理大类3区，在所属学科领域具备高学术影响力与国际认可度。Journal Of Micro-nanolithography Mems And Moems长期聚焦物理与天体物理、工程电子与电气及相关产业的技术应用前沿，平均审稿周期较慢,6-12周，审稿流程高效稳定。在稿件录用评判中，该刊将创新性与前沿性作为核心遴选标准，重点收录能够对物理与天体物理、工程电子与电气领域的落地与发展产生实质性推动价值的研究成果。
杂志介绍
JCR分区
Q3
中科院分区
3区
影响因子
2.3
CiteScore
4.3
期刊收录
SCI、SCIE
期刊评价
名词解释：
影响因子（Impact Factor, IF）：指该期刊前两年发表的文章，在第三年的平均被引用次数。它反映了期刊的近期平均影响力和热度。
中科院分区：中科院分区表是国内主流的学术期刊分级评价工具，核心意义是建立跨学科可比的统一评价标尺，为职称评审、学位授予、科研立项等科研管理工作提供标准化量化依据，同时帮助科研人员筛选优质期刊、规避学术风险，适配国内本土化的科研评价需求。
期刊分区表
《新锐期刊分区表》（2026年3月发布）
| 大类学科 | 小类学科 | Top期刊 | 综述期刊 |
|---|---|---|---|
|
物理与天体物理
3区
|
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
工程：电子与电气
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
纳米科技
MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY
材料科学：综合
OPTICS
光学
4区
4区
4区
4区
|
否 | 否 |
期刊分区表（2025年3月升级版）
| 大类学科 | 小类学科 | Top期刊 | 综述期刊 |
|---|---|---|---|
|
物理与天体物理
3区
|
OPTICS
光学
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
工程：电子与电气
MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY
材料科学：综合
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
纳米科技
3区
4区
4区
4区
|
否 | 否 |
期刊分区表（2023年12月升级版）
| 大类学科 | 小类学科 | Top期刊 | 综述期刊 |
|---|---|---|---|
|
物理与天体物理
2区
|
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
工程：电子与电气
MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY
材料科学：综合
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
纳米科技
OPTICS
光学
3区
3区
3区
3区
|
否 | 否 |
JCR分区
2025-2026年最新版
| 按JCI指标学科分区 | 收录子集 | 分区 | 排名 | 百分位 |
|---|---|---|---|---|
| 学科：ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC | SCIE | Q3 | 221 / 369 |
40.2 |
| 学科：MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY | SCIE | Q3 | 336 / 472 |
28.9 |
| 学科：NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY | SCIE | Q4 | 116 / 148 |
22 |
| 学科：OPTICS | SCIE | Q3 | 68 / 129 |
47.7 |
| 学科：ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC | SCIE | Q3 | 250 / 371 |
32.75 |
| 学科：MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY | SCIE | Q3 | 328 / 473 |
30.76 |
| 学科：NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY | SCIE | Q3 | 104 / 148 |
30.07 |
| 学科：OPTICS | SCIE | Q3 | 93 / 129 |
28.29 |
2023-2024年最新版
| 按JCI指标学科分区 | 收录子集 | 分区 | 排名 | 百分位 |
|---|---|---|---|---|
| 学科：ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC | SCIE | Q3 | 252 / 352 |
28.6 |
| 学科：MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY | SCIE | Q4 | 338 / 438 |
22.9 |
| 学科：NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY | SCIE | Q4 | 115 / 140 |
18.2 |
| 学科：OPTICS | SCIE | Q3 | 82 / 119 |
31.5 |
| 学科：ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC | SCIE | Q3 | 255 / 354 |
28.11 |
| 学科：MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY | SCIE | Q3 | 311 / 438 |
29.11 |
| 学科：NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY | SCIE | Q3 | 103 / 140 |
26.79 |
| 学科：OPTICS | SCIE | Q3 | 88 / 120 |
27.08 |
中国学者近期发文
1
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Journal Of Micro-nanolithography Mems And Moems
国际简称：J MICRO-NANOLITH MEM参考译名：微纳光刻技术杂志
杂志社联系方式：SPIE-SOC PHOTOPTICAL INSTRUMENTATION ENGINEERS, 1000 20TH ST, PO BOX 10, BELLINGHAM, USA, WA, 98225
